旋片式真空泵因泵浦內(nèi)安置旋片而得名，是一種氣體輸送型真空泵浦。利用泵浦內(nèi)可變?nèi)莘e而獲得真空。主要有單級(jí)和雙極兩種旋片式真空泵。

    雙級(jí)旋片真空泵主要組成構(gòu)件：缸體，轉(zhuǎn)子，旋片，端蓋、油箱、彈簧

    雙級(jí)旋片真空泵工作原理

    旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開(kāi)始被壓縮，容積逐漸縮小，zui后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開(kāi)，氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來(lái)負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。

    雙級(jí)旋片真空泵特點(diǎn)：

    1.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，易以維護(hù)和保養(yǎng)。

    2. 采用風(fēng)冷散熱，無(wú)需冷卻水。.

    3.電機(jī)與泵體采用直連方式，解決了傳統(tǒng)皮帶及齒輪松弛損耗問(wèn)題，同時(shí)噪音更低。

    4.內(nèi)置能排氣過(guò)濾器，所抽氣體可以直接排放，無(wú)污染。

    5. 進(jìn)氣口有逆止閥,當(dāng)泵浦停止時(shí),此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流.

    6. 低震動(dòng),不需用基礎(chǔ)螺拴固定泵浦。

    7. 運(yùn)轉(zhuǎn)聲音小。

    8. 具氣體壓載閥,可適用於蒸氣之制程。

    9.即在真空度0.5mbar到40mbar之間進(jìn)入泵浦入口之水蒸氣,會(huì)從泵浦出氣口*排出,而不會(huì)在泵浦內(nèi)發(fā)生凝結(jié)現(xiàn)象。